1. 전기 전도도 : 물은 전기의 좋은 지휘자이며 오일은 훌륭한 절연체입니다. 반도체는 정전기에 매우 민감하며 전하에 의해 손상 될 수 있습니다. 물을 사용하면 전기 방전 경로가 가능하여 반도체가 손상 될 수 있습니다.
2. 표면 장력 : 물은 표면 장력이 높으므로 습윤이 고르지 않은 습윤을 일으키고 반도체 표면에 불순물을 생성 할 수 있습니다. 이로 인해 반도체 장치의 결함 및 성능 문제가 발생할 수 있습니다. 반면에 오일은 표면 장력이 낮아서 습윤과 오염이 줄어 듭니다.
3. 화학 반응성 : 물은 금속 산화물 및 특정 중합체와 같은 반도체 제조에 사용되는 일부 재료와 화학적으로 반응 할 수 있습니다. 이로 인해 부식, 저하 및 궁극적으로 장치 고장이 발생할 수 있습니다. 오일은 일반적으로 반응성이 떨어지고 불활성이 더 많습니다.
4. 건조 : 물은 빠르게 증발하여 반도체를 손상시킬 수있는 잔류 물을 남겨 둡니다. 오일은 느리게 증발하여 오염 위험이 줄어 듭니다.
5. 광학 특성 : 물은 가시 광선에 투명하지만 오일은 유형에 따라 특정 굴절률을 가질 수 있습니다. 이것은 오일이 이미지의 선명도를 향상시키는 데 도움이되는 현미경 또는 광학 특성화 기술에 유용 할 수 있습니다.
요약하면, 오일 대신 물을 사용하면 반도체가 손상, 결함 및 궁극적으로는 비 기능적 장치로 이어질 수있는 여러 위험에 노출됩니다. 오일은 민감한 반도체 시편을 처리하기위한 훨씬 더 안전하고 신뢰할 수있는 환경을 제공합니다.
