다른 박막 응용은 고품질 단결정 기판의 가용성을 요구합니다. 이러한 목적으로 인기있는 산화물은 srtio 3 입니다 (sto). STO는 또한 새로운 아이디어, 즉 산소 결핍 영역이 단열 매트릭스에서 나노-침입을위한 금속 도체 역할을 할 것이라는 새로운 아이디어를 활용하는 장치 제조를위한 활성 재료로 연구된다. STO가 영향을 줄 것으로 예상되는 응용 프로그램은 미세 전자, 전력 및 에너지이며, 추가 개발 및 개념을 위해 목록이 열려 있습니다.
STO는 녹는 온도가 높으며 (2350K), 이로 인해 단결정의 제조는 사소하지 않습니다. Flame-Fusion (Verneuil) 방법은 STO 단결정을 성장시키는 데 산업적으로 사용되는 유일한 접근법입니다. 다른 방법은 작은 성장률, 크기 또는 낮은 수율로 인해 상업 생산에 적합하지 않습니다. 화염 퓨전 방법에서, Srco 3 와 함께 첨가 된 Sr 및 Ti 산화물의 분말 혼합물 산소와 수소의 혼합물을 연소시킴으로써 불꽃으로 녹아 간다. 용융물은 STO 단결정의 씨앗에서 굳어집니다.
어려움은 SR의 증발, 열 구배 제어 및 처리 중 성장 파라미터의 동적 변화와 관련이 있습니다. 마지막 특징은 퍼니스 환경에 성장하는 결정의 영향 때문입니다. 또한, 주요 성장 파라미터 중 일부가 서로에 대해 다소 의존하기 때문에 프로세스 제어는 제한적이다. 제시된 상황과 더 큰 결정에 따라 성장 안정성 변화, 그리고 한 번의 생산 이동 동안, 결정에서 미크론 크기 또는 더 큰 기포로 쉽게 끝날 수 있습니다. 이와 관련하여 특히 중요한 것은 성장의 끝입니다.
결정이 클수록 원치 않는 결함으로 결정을 얻을 확률이 높아집니다. 또 다른 문제는 성장 후, 더 큰 결정이 균일하게 산소화되기가 점점 어려워진다는 것입니다. 이러한 해결 된 문제를 고려할 때 일반적으로 시장에있는 STO 결정의 직경이 20mm를 초과하지 않는다는 것을 이해하기 쉽습니다.
일본의 푸루치 화학 공동, 일본 카자자와 기술 연구소, 일본 국립 재료 과학 연구소, 일본, 루마니아, 루마니아, 루마니아 국립 재료 물리 연구소, 30mm의 직경의 거품이없는 단일 결정 (~ 5 시간) 내에서 성장한 STO의 거품이없는 단일 결정 (~ 5 시간). 소스 분말 혼합물의 조성, 특히 Srco 3 의 양. 첨가제 및 기타 성장 파라미터가 최적화되었습니다. 산소화 후, 단결정은 구조적, 미세 구조, 광학 및 THZ 분광법 관점에서 특성화되었다.
이 결정은 더 작은 크기의 상업적인 특성과 유사한 특성을 나타냅니다. 이를 통해 박막 성장을위한 기질로서의 사용이 가능합니다. 또한 더 큰 크기의 단결정 성장 및 대 지역 기판의 상업화 가능성을 시사합니다.
