1. 탄성 산란 :
* 무슨 일이 일어나는지 : 전자는 에너지를 잃지 않고 시편에서 원자의 정전기 장에 의해 편향됩니다. 이 유형의 상호 작용은 주로 투과 전자 현미경 (TEM) 의 이미지 형성을 담당합니다. , 산란 된 전자가 화면 또는 검출기에 투사되므로 확대 된 이미지를 만듭니다.
* 운명 : 일부 전자는 큰 각도를 통해 흩어져 있으며 목표 조리개에 의해 차단되어 이미지의 대비에 기여합니다. 다른 사람들은 작은 각도를 통해 흩어져 있으며 전체 신호에 기여합니다.
2. 비탄성 산란 :
* 무슨 일이 일어나는지 : 전자는 시편의 전자와의 상호 작용으로 인해 일부 에너지를 잃어서 원자 또는 이온화를 만듭니다. 이것은 TEM 및 주사 전자 현미경 (SEM) 에서 발생합니다. .
* 운명 :
* tem : 무성하게 산란 된 전자는 회절 패턴에 기여한다 및 에너지 손실 분광법 (eels) , 시편의 화학적 조성 및 결합에 대한 정보를 제공합니다.
* SEM : 무성하게 산란 된 전자는 후방 산란 전자 (BSE) 이미징에 사용될 수 있습니다 시편의 원자 수에 대한 정보를 제공합니다. 나머지 에너지는 2 차 전자 (SE) 로 손실 될 수 있습니다. , 표면에서 방출되고 2 차 전자 영상에 사용됩니다 , 지형 정보 제공.
3. 흡수 :
* 무슨 일이 일어나는지 : 일부 전자는 시편과의 상호 작용에서 모든 에너지를 잃고 흡수됩니다. 이것은 두꺼운 시편에서 더 쉽게 발생합니다 .
* 운명 : 흡수 된 전자는 열 생성에 기여한다 시편 내에서 잠재적으로 손상이 발생합니다.
4. Bremsstrahlung :
* 무슨 일이 일어나는지 : 고 에너지 전자는 원자의 핵과 상호 작용하여 bremsstrahlung 방사선을 생성합니다 (엑스레이). 이 현상은 sem 에서 더 두드러집니다 .
* 운명 : X- 선을 감지하고 에너지 분산 X- 선 분광법 (eds) 에 사용될 수 있습니다. 시편의 원소 구성에 대한 정보를 제공합니다.
요약 :
전자 현미경에서 시편과 상호 작용하는 전자의 운명은 다면적이다. 그들은 탄성 또는 무선으로 흩어져 있거나 흡수 또는 엑스레이를 생성 할 수 있습니다. 각 상호 작용은 시편의 구조, 구성 및 특성에 대한 귀중한 정보를 제공합니다.
이들 상호 작용의 상대적 비율은 특정 현미경, 시편 및 전자 빔 에너지에 따라 다릅니다. 이러한 상호 작용을 이해하는 것은 전자 현미경에서 얻은 데이터를 해석하고 의미있는 통찰력을 추출하는 데 중요합니다.
