이유는 다음과 같습니다.
* 전자는 빛보다 파장이 훨씬 짧습니다. 이를 통해 해상도가 훨씬 높아 나노 스케일 수준에서 물체를 볼 수 있습니다.
* 전자는 물질과 강력하게 상호 작용합니다. 이 상호 작용은 시편에 의한 전자의 산란 또는 흡수에 기초한 이미지를 생성 할 수있게한다.
따라서 전자 현미경은 전하 입자의 빔을 사용하지만 전형적인 의미에서 "방사선"으로 간주되지 않습니다. 그러나 전자 빔은 유해 할 수 있습니다 , 특히 높은 에너지에서, 안전 예방 조치는 작동 중에 취해야합니다.