SIF4의 실리콘 원자는 SP3 하이브리드 화된다. 이것은 실리콘 원자가 4 개의 원자가 전자를 갖는다는 것을 의미하며, 이는 4 개의 불소 원자와 4 개의 단일 결합을 형성하는 데 사용된다. SP3 하이브리드 화는 4 개의 사면체 궤도의 형성을 초래하며, 이는 사면체의 모서리를 향한다. 4 개의 불소 원자는이 4 개의 궤도를 차지하여 4 개의 Si-F 결합을 형성합니다.
SIF4에서 실리콘 원자의 SP3 혼성화는 또한 분자의 사면체 형상을 담당한다. 4 개의 사면체 궤도는 상이한 방향으로 가리키고 4 개의 불소 원자는 사면체의 모서리에 위치하여 전자 쌍 사이의 반발을 최소화한다.
요약하면, SIF4의 SP3 혼성화 된 구조는 4 개의 Si-F 결합을 갖는 사면체 분자 기하학을 초래한다.