이온화 과정은 다음 방정식으로 표시 될 수 있습니다.
cu (g) + e- ---> cu + (g) + 2e-
이 방정식에서, Cu (g)는 중성 구리 원자를 나타내고, E-는 전자 빔을 나타내고, Cu+(g)는 양으로 하전 된 구리 이온을 나타내고, 2e-는 이온화시 구리 원자에서 방출되는 2 개의 전자를 나타낸다.
전자 이온화 공정은 일반적으로 진공 챔버에서 수행되어 이온이 공기 분자와 충돌하고 전하를 잃지 않도록합니다. 그런 다음 생산되는 양의 이온은 전기장에 의해 가속되고 질량 분석기에서 질량 대 전하 비에 따라 분리된다.