1. 정전기 초점 :
* 정전기 렌즈 : 이들은 그들 사이에 전위차가 적용되는 금속 실린더입니다. 이것은 전자의 수렴 렌즈처럼 작용하는 전기장을 만듭니다. 전자는 양으로 하전 된 실린더에 끌리고 음으로 하전 된 실린더에 의해 격퇴되어 경로를 수렴하게합니다.
* 장점 : 단순한 디자인, 높은 초점력 및 우수한 안정성.
* 단점 : 길 잃은 전하, 고 에너지에서의 초점 강도 제한된 영향을받을 수 있습니다.
2. 자기 초점 :
* 자기 렌즈 : 이들은 전자기 코일을 사용하여 자기장을 생성합니다. 자기장 라인은 렌즈와 같은 효과를 형성하도록 형성됩니다. 전자는 자기장에 의해 편향되어 경로가 수렴됩니다.
* 장점 : 높은 초점 강도, 고 에너지 전자의 경우 더 나은 강도, 길 잃은 충전에 취약합니다.
* 단점 : 보다 복잡한 설계는 외부 소스의 자기장의 영향을받을 수 있습니다.
3. 결합 초점 :
* 전자기 렌즈 : 이 렌즈는 정전기 및 자기장을 결합하여 최적의 초점을 달성합니다. 고성능 전자 현미경 및 기타 까다로운 응용 분야에 사용됩니다.
* 장점 : 가장 높은 초점력, 안정성 및 다양성.
* 단점 : 단일 필드 렌즈보다 더 복잡하고 비싸다.
4. 기타 초점 방법 :
* 4 중 렌즈 : 이 렌즈는 4 개의 극 세트를 사용하여 빔에 한 방향으로 초점을 맞추고 다른 방향으로 훼손되는 자기장을 만듭니다.
* Octupole 렌즈 : 4 차 렌즈와 유사하지만 고차 보정을위한 8 개의 폴이 있습니다.
초점에 영향을 미치는 요인 :
* 전자 에너지 : 높은 에너지 전자는 운동량 증가로 인해 집중하기가 더 어렵습니다.
* 빔 전류 : 전류가 높을수록 공간 전하 효과가 발생하여 빔을 훼손 할 수 있습니다.
* 렌즈 수차 : 모든 렌즈에는 집중 빔을 왜곡 할 수있는 불완전 성이 있습니다.
전자 빔 포커싱의 적용 :
* 전자 현미경 : 전자 빔을 샘플에 초점으로하여 작은 물체의 이미지를 확대하는 데 사용됩니다.
* 전자 빔 리소그래피 : 통합 회로를 위해 반도체 웨이퍼에 복잡한 패턴을 만드는 데 사용됩니다.
* 의료 영상 : X- 선 기계 및 기타 의료 이미징 장치에 사용됩니다.
* 입자 가속기 : 입자의 빔을 가속화하고 초점을 맞추는 데 사용됩니다.
전반적으로, 초점 초점 선택은 특정 응용 프로그램 및 원하는 성능에 따라 다릅니다.
