작동 방식은 다음과 같습니다.
* 전자 빔 : 집중된 전자 빔은 시편의 표면에 지시된다.
* 상호 작용 : 빔의 전자는 시편의 원자와 상호 작용합니다. 일부 전자는 흡수되고 일부는 시편을 통해 전달되며 일부는 후방 산란 입니다. 표본에서 (튀어 나온).
* 탐지기 : 특수 탐지기는 후방 산란 전자를 포착합니다.
* 패턴 분석 : 후방 산란 전자의 패턴은 시편의 결정 학적 방향에 의존한다. 이 패턴은 물질의 결정 구조 및 방향을 결정하기 위해 분석됩니다.
키 포인트 :
* 전자는 실제로 문자 그대로 표면에서 튀어 나오지 않습니다. 대신, 그들은 시편의 원자의 전자와 상호 작용하여 산란과 방향의 변화를 초래합니다.
* 후방 산란 전자는 시편의 결정 학적 방향에 대한 정보를 제공합니다. 이 정보는 재료를 특성화하고, 단계를 식별하고, 입자 크기와 모양을 결정하는 데 사용됩니다.
EBSD는 재료 과학, 지질학 및 생물학을 포함한 다양한 분야에서 사용되는 강력한 기술입니다.
