다음은 작동 방식에 대한 고장입니다.
* 전자 총 : 가열 된 필라멘트는 전자를 방출하여 전자 빔을 생성합니다.
* 전자기 렌즈 : 이 렌즈는 전자 빔에 초점을 맞추고 지시하는 데 사용됩니다.
* 샘플 상호 작용 : 전자 빔은 샘플과 상호 작용하여 2 차 전자의 산란, 회절 및 방출과 같은 다양한 효과를 유발합니다.
* 탐지 : 감지기는 전자 빔의 샘플과의 상호 작용에 의해 생성 된 신호를 포착합니다.
* 이미지 형성 : 수집 된 신호는 샘플의 이미지를 생성하기 위해 처리됩니다.
따라서 전자 현미경 자체는 전자 건 및 렌즈에 전력을 공급하기 위해 전기를 사용하여 작동하지만 샘플과 상호 작용하고 이미지를 생성하는 에너지는 전자의 운동 에너지입니다 .
