SIF4 분자는 사면체 모양을 갖는다. 이는 실리콘 원자가 4 개의 원자가 전자를 가지기 때문에 이들 전자 각각은 불소 원자와 공유되기 때문이다. 4 개의 불소 원자는 사면체 형태의 실리콘 원자 주위에 배열되며, 각 불소 원자는 사면체의 4 개의 모서리 중 하나를 차지한다.
